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發布(bu)時(shi)間：2019-04-04 點擊量：4534
采(cai)用1064納(na)米激光激光刻蝕機對FTO、ITO導電膜(mo)進行(xing)線路蝕刻，發現(xian)(xian)了FTO、ITO存在蝕刻不斷的現(xian)(xian)象(xiang)，出現(xian)(xian)點(dian)狀現(xian)(xian)象(xiang)，請問如何處理？
管理員回復(fu):通常情況下激光刻蝕FTO或(huo)ITO刻不斷有(you)三點愿意需(xu)要去做調整：
1.檢查薄膜或玻璃(li)材料是否(fou)平(ping)整(zheng)，如果(guo)檢測(ce)平(ping)整(zheng)性高，需要重新校正平(ping)臺、振鏡的精(jing)度；
2.檢查激光器的頻(pin)(pin)率、脈寬設置，可通過加大頻(pin)(pin)率、降低(di)脈寬來調整；
3.檢查振(zhen)鏡掃描速度(du)設置，是(shi)否開的過快，可降低振(zhen)鏡掃描速度(du)配合激光器的頻率(lv)、脈寬設置問題來做(zuo)。
另外還(huan)可(ke)(ke)以(yi)通(tong)(tong)過(guo)掃(sao)描(miao)多次(ci)的(de)方式來檢(jian)測是否同一個位置(zhi)可(ke)(ke)不(bu)短呈(cheng)現點狀(zhuang)，還(huan)是其他位置(zhi)也有這種情況，可(ke)(ke)以(yi)判斷(duan)出是否不(bu)平整或振鏡(jing)有問題，還(huan)可(ke)(ke)以(yi)設置(zhi)出光(guang)延遲等(deng)等(deng)問題去解決，如(ru)果機(ji)器時間(jian)過(guo)長，還(huan)要(yao)考慮機(ji)器功率衰減的(de)問題，可(ke)(ke)以(yi)通(tong)(tong)過(guo)加大功率來做測試。
管(guan)理(li)員 Asked question 2019-05-22
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