ITO是一種N型的氧化物半導體，中文名(ming)為(wei)氧化銦錫，因為(wei)其導電性(xing)、透光率(lv)較好(hao)常(chang)用(yong)于玻璃或柔性(xing)材PET基材上的導(dao)電氧化物(wu)，用(yong)于觸摸(mo)屏、光伏(fu)、冷光片(pian)、傳感器、電致色玻璃(li)、發光玻璃(li)等行業。通常情況(kuang)下利用(yong)平面磁控技術(shu)在玻璃(li)或(huo)柔(rou)性PET等材料上濺射ITO材料(liao)，并通過(guo)高溫退火處理得到(dao)ITO鍍膜(mo)玻璃或薄(bo)膜(mo)材(cai)料。
ITO導(dao)電玻璃
而ITO鍍(du)膜(mo)玻璃或薄膜(mo)原材料由于是一(yi)整塊都是ITO材料，應(ying)用到觸控面板、顯(xian)示(shi)面板、太陽能電(dian)池(chi)、微電(dian)子、光電(dian)子等領域中就需要(yao)對(dui)其(qi)進行加工，形成特定線路圖，而對(dui)ITO材(cai)料的初加工工藝成了關鍵環節。
ITO鍍膜玻(bo)璃或薄(bo)膜的材料線路成型(xing)加(jia)工主要有黃光曝光、化學蝕(shi)刻、等離子蝕(shi)刻以及激光刻蝕(shi)設備。
黃光曝光加工效果好，速度快，缺(que)點是需(xu)要用到掩膜版，ITO線(xian)路要求(qiu)有的多(duo)達(da)數千(qian)種，每(mei)一種都需要掩膜版，這對設計加工的成本太高，就是存(cun)儲也(ye)會浪費大量的空間，因此黃光曝光工藝目(mu)前(qian)只保留在特(te)殊要求(qiu)領域中使用。
黃光(guang)曝光(guang)設(she)備（圖片源自網絡(luo)）
化(hua)學(xue)(xue)蝕(shi)刻(ke)(ke)加(jia)工速度(du)高，效果(guo)好，缺(que)點(dian)是大(da)量的(de)(de)化(hua)學(xue)(xue)試劑對人(ren)體和環(huan)境會造成污染，特別是在當(dang)今社(she)會中人(ren)與自然(ran)的(de)(de)協調愈加(jia)重要，環(huan)境問題已加(jia)以(yi)限制，并(bing)控(kong)制在一定范圍內。當(dang)然(ran)化(hua)學(xue)(xue)蝕(shi)刻(ke)(ke)也有(you)技術工藝缺(que)點(dian)隨著下游產(chan)品對ITO鍍膜材(cai)料的要(yao)求越來越高，超細線寬(kuan)的ITO材料化(hua)學蝕刻工藝已(yi)感到力不從心。
化學刻蝕設備（圖(tu)片源自網絡(luo)）
等離子蝕刻(ke)效果和速度都(dou)非常理想，不過工藝(yi)流程(cheng)較為復雜，灑家(jia)也不太明(ming)白具體(ti)的工藝(yi)流程(cheng)，想想晶圓的制作流程(cheng)，想來大(da)家(jia)也知道了其復雜程(cheng)度。不過相比較于ITO鍍膜材料(liao)的加工，等離(li)子蝕刻設備還是小兒科了(le)，很容易(yi)實現，也有簡易(yi)版的適用于ITO材料(liao)，相比(bi)較而言等離子(zi)刻蝕的成本相對較高。
等離(li)子刻(ke)蝕設備（圖片(pian)源(yuan)自網絡(luo)）
激光(guang)刻蝕設(she)備是目前(qian)的主流ITO刻蝕(shi)工藝(yi)，適用于柔性pet以及玻璃上的導電(dian)ITO激光刻蝕(shi)，優點是工藝流程簡單，導入CAD圖紙即可相機自(zi)動定位(wei)加(jia)工，一次(ci)性成型(xing)，對環境無污染，無掩(yan)膜版，只用消耗電力，并且易于自(zi)動化，加(jia)工尺寸(cun)可超(chao)過3m以上，優(you)勢顯而易(yi)見(jian)。目前ITO材料刻蝕的(de)線寬要求越(yue)來越(yue)高，傳(chuan)統(tong)的(de)納秒紅外(wai)激光刻蝕機的(de)最(zui)小(xiao)線寬只能做到20微米(mi)，而隨著(zhu)激光技術的(de)進(jin)步，ITO材料刻蝕最小線寬(kuan)可做到10微米以下，可(ke)保持與ITO材料(liao)應用行(xing)業需求(qiu)的發展(zhan)同步(bu)。
ITO激光刻蝕(shi)設備
ITO鍍膜(mo)玻(bo)璃、薄膜(mo)刻蝕工藝是太陽能(neng)電(dian)池、觸(chu)摸屏、光電(dian)子(zi)等行業領域中重要工藝環節，要保證生產效率(lv)、生產成(cheng)本(ben)、環境保護，ITO激(ji)光刻蝕機必不可少，武漢元祿光電專業生產(chan)激光刻(ke)蝕設備，擁有豐富的(de)經驗、過硬的(de)技術，歡迎(ying)大(da)家(jia)前來洽(qia)談了(le)解。
推薦設備：導電玻(bo)璃(li)激光刻蝕機(ji)
