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發布時間:2020-04-13 點擊量:3452
激光刻蝕ITO有殘留如何(he)處理?
管理員回復:激(ji)(ji)光刻蝕ITO、FTO、氧化鎳等透(tou)明導(dao)電氧化物有殘留的原(yuan)因大體上分(fen)為(wei)兩種(zhong)。一(yi)種(zhong)是(shi)因為(wei)選用的激(ji)(ji)光波長或激(ji)(ji)光工作模式不對(dui)以(yi)及設(she)置工藝參數不對(dui)造(zao)成的技術層面殘留;第二(er)種(zhong)是(shi)由于(yu)刻蝕線寬(kuan)太窄,激(ji)(ji)光加工后的煙霧殘留,未能清(qing)除干凈(jing)造(zao)成二(er)次污染(ran)形成。
第一種解(jie)決方(fang)案是重新調整技(ji)術參數,如(ru)(ru)果是硬件(jian)原因(yin)造成(cheng),建(jian)議增(zeng)大刻蝕的(de)線寬觀察是否仍有殘(can)留(liu),可(ke)通過改變硬件(jian)條件(jian)改善。第二種解(jie)決方(fang)案是增(zeng)加(jia)吹氣及(ji)抽塵裝置,部分廠(chang)家售賣機器并(bing)未考慮到這個因(yin)素(su),元祿光電根據(ju)公司(si)產品經(jing)驗推薦使用(yong)煙霧凈化裝置,尤其是在北方(fang)冬天,需要注(zhu)意防范(fan),另(ling)外某(mou)些(xie)特(te)殊場合下還需要增(zeng)加(jia)等(deng)離子風作為吹氣設施,保證加(jia)工(gong)過程中(zhong)不會(hui)因(yin)為空氣中(zhong)的(de)水分子造成(cheng)產品壽命(ming)的(de)降低,造成(cheng)產品材(cai)料降解(jie)、分解(jie)等(deng),如(ru)(ru)鈣鈦礦電池。
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管理員 Asked question 2020-04-14
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