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導電玻璃是指透明導電氧化(hua)物，如氧化(hua)銦錫ITO、摻雜氟的SnO2 FTO、氧化鋅ZnO、氧化鎳NiO、納米銀(yin)等，部分為銅、鋁、金(jin)等材料，以玻璃為基(ji)材，通過(guo)磁(ci)控濺射等方式(shi)將導電材料生(sheng)長在玻璃上的產(chan)品，常用于觸摸屏、光伏太陽(yang)能電池、戶(hu)外顯示、航(hang)空航(hang)天等諸多領(ling)域當中。

導電玻璃在產品成型之前需要對其進行刻蝕加工，形成電路圖，光伏行業主要是劃線，做成一個個小單元的電極，增大電壓，無論哪一個應用領域，都需要對其進行刻蝕加工。目前刻蝕工藝主要分為激光刻蝕、等離子刻蝕、化學刻蝕以及機械劃線等幾種方式，武漢元祿光電為大家介紹幾種刻蝕的方法、優缺點以及重點介紹激光刻蝕機的選型。

化學刻蝕：優點是(shi)加工(gong)速度快，一次成型，適(shi)合(he)大面積加工(gong)；缺點是(shi)添加劑具(ju)(ju)有毒性(xing)，并且(qie)具(ju)(ju)有一定的污染(ran)性(xing)，操作流程(cheng)相對復雜，對掩膜版要求高，不具(ju)(ju)備超精(jing)密微納結(jie)構的加工(gong)能力。

等(deng)離子刻(ke)(ke)蝕(shi)：超細(xi)微精(jing)密(mi)刻(ke)(ke)蝕(shi)，刻(ke)(ke)蝕(shi)線寬達到納米級(ji)，精(jing)度高；缺點是(shi)成本高，對使用環境(jing)等(deng)諸多要素都有極高要求。

機械劃(hua)線(xian)(xian)：主要優(you)勢是(shi)成本低廉；缺點也(ye)顯(xian)而易見，對基材的損傷、線(xian)(xian)寬控制(zhi)、精度控制(zhi)、效果控制(zhi)都不如(ru)其(qi)他加工，早期常應用(yong)于光伏太陽能劃(hua)線(xian)(xian)。

激光(guang)刻蝕：分為干法刻蝕和黃光(guang)曝光(guang)兩種，黃光(guang)曝光(guang)的優(you)勢在于一次(ci)成型，精(jing)度(du)高、刻蝕效果好、精(jing)細，缺點(dian)是(shi)成本(ben)相(xiang)對較(jiao)高，具備污(wu)染性。干法刻蝕是(shi)指(zhi)激光(guang)直接入射在材料表面無需任(ren)何添(tian)加劑，通過高能量的光(guang)束汽(qi)化材料，形(xing)成線路或(huo)斷路，相(xiang)比較(jiao)于其他(ta)幾種工藝，在導電玻璃行業中可謂星光(guang)熠熠，處(chu)處(chu)優(you)勢明顯，也是(shi)目前整個行業領域(yu)內最(zui)主流的機器。

激光刻蝕機

激光刻(ke)蝕(shi)機的(de)主要優(you)點是操作簡便，導(dao)入CAD或(huo)Gerber文件，通(tong)過(guo)振(zhen)鏡偏(pian)轉、配合XY軸移(yi)動(dong)形成大面(mian)積的刻(ke)蝕成型，無耗材、無污染，刻(ke)蝕干凈，最小線寬可達到亞納米級別，目前(qian)武漢元祿光電普(pu)通振(zhen)鏡掃描方式，導電ITO玻璃最(zui)小(xiao)線寬在3微米(mi)，而(er)在實驗(yan)室內最小可達700nm線(xian)寬，特別適合于導電玻璃微納激(ji)光刻蝕。

激光刻(ke)蝕(shi)機用于導電玻璃行業中主要激光波段(duan)為(wei)1064/532/355nm納秒(miao)(miao)、皮秒(miao)(miao)激光刻蝕機以及(ji)1030/515nm/355nm波段的飛秒激光(guang)(guang)刻蝕(shi)機，根(gen)(gen)據不(bu)同的應用場(chang)景(jing)需(xu)求，配置不(bu)同的激光(guang)(guang)器(qi)，并且會根(gen)(gen)據實際需(xu)求選擇不(bu)同的光(guang)(guang)學器(qi)件，如掃描(miao)幅(fu)面、擴(kuo)束(shu)倍數、加工面積等條件。

一(yi)般(ban)來說(shuo)，激光刻(ke)蝕機的(de)參考選型(xing)主(zhu)要(yao)參考因素(su)是導電玻璃的(de)材(cai)料、幅(fu)寬、線(xian)寬、線(xian)間距要(yao)求(qiu)，至(zhi)(zhi)于說(shuo)材(cai)料的(de)厚度一(yi)般(ban)都是在(zai)幾百微米范圍(wei)內，有(you)的(de)甚至(zhi)(zhi)只有(you)幾個(ge)納米，對于激光刻(ke)蝕機來說(shuo)不難(nan)加(jia)工，主(zhu)要(yao)還是看熱(re)影響范圍(wei)區域，加(jia)工后的(de)線(xian)寬、線(xian)間距以(yi)及線(xian)性直線(xian)度、加(jia)工精度以(yi)及誤差等影響。

因此確定激光刻蝕機的選擇需(xu)要明確以(yi)上(shang)幾點(dian)，根據需(xu)求推薦(jian)對應的機器類型，一般來說紅外1064納秒(miao)激光刻蝕(shi)機主要適用于20微米以上線寬的(de)加工要求，飛秒激光(guang)刻(ke)(ke)蝕機主要適用(yong)于多層材料(liao)的(de)導電玻璃(li)激光(guang)刻(ke)(ke)蝕，如(ru)特殊需求仍需以實驗試樣(yang)為準。

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